(1)伺服行星減速機電機清潔：外部清潔；除塵等內部清潔；清潔電機、清潔散熱器件；清除銹跡等。
(2)伺服行星減速機器件保養：檢查磨損程度；按要求加潤滑劑；調整和緊固松動移位的部件；更換到期的易損件等。
(3)整體性能檢測：外圍的易損器件的檢查和保養；儀表和指示燈是否正常；功能和技術指標是否正常；傳感器、氧電池校正；安全閥檢查；管道順應性檢測。
(4)輔助設施的保養：穩壓電源的檢查；蓄電池的檢查，更換到期的干電池；環境溫度和濕度檢查；接地檢查；是否有陽光直射；有無腐蝕性氣體和液體及易嫩易爆物品。
(5)高危部件的檢查：檢查高溫、高壓力和高電壓器械是否符合使用條件，是否有老化現象，是否有異常氣味和異常聲音，絕緣是否符合要求。
(6)排水：由于減速機長期使用高壓氣體，應特別注意空氧混合器的積水的及時排掉。
(7)消耗品更換：對已經或即將到使用壽命的消耗品進行更換，如氧電池、傳感器、閥片、活瓣、細菌過濾器。
(8)特殊保養：按器械的操作手冊要求進行。